Статьи по ключевому слову "электростатическое управление"
МЭМС-переключатель с контактами из платины и рутения
- Год: 2022
- Том: 15
- Выпуск: 3.3
- 20
- 5245
- Страницы: 335-339
НТВ Физико-математические наукиНаучно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223