Независимое управление размером и формой наноструктур GaAs при капельной эпитаксии с помощью ультрамалого потока мышьяка
Авторы:
Аннотация:
В данной работе демонстрируется возможность уменьшения размера капель галлия за счет воздействия на них потока мышьяка ультрамалых значений. Управление размером и формой капель осуществляется независимо от их поверхностной плотности, что позволяет формировать массивы квантовых точек малого размера с низкой поверхностной плотностью. Основываясь на массивах капель с тримодальным распределением по размерам, мы демонстрируем, что капли большего размера в меньшей степени подвержены влиянию малого потока мышьяка, в то время как капли меньшего размера могут уменьшаться в объеме или полностью распадаться, приводя к формированию наноуглублений.