Слаботочный тлеющий разряд низкого давления в электроотрицательных газах
Авторы:
Аннотация:
Проанализированы физические механизмы существования двух стадий тлеющего разряда в электроотрицательных газах. Показано, что на слаботочной стадии разряда главным механизмом гибели электронов является их прилипание к молекулам электроотрицательного газа, а на сильноточной стадии — диффузионное устранение.