Статьи по ключевому слову "нанопрофилирование"
Комбинированный подход к созданию шаблона на подложке SiO2/Si с использованием ионных пучков и жидкостного травления
- Год: 2024
- Том: 17
- Выпуск: 3.1
- 7
- 688
- Страницы: 75-78
Изготовление наноразмерных структур методом ионно-стимулированного осаждения материалов и изучение их электрических свойств
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 1.2
- 7
- 2571
- Страницы: 218-223