НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "магнетронное напыление"

Исследование и разработка технологии синтеза напыления пьезоэлектрических тонких пленок BaTiO3 для датчика быстропеременных и статических давлений

Физическая электроника
Агафонов Д.В. Гурин С.А. Новичков М.Д. Рыжов А.А. Волков В.С. Шепелева А.Э.
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.2
  • 0
  • 10
  • Страницы: 164-167

Новые методы синтеза высококачественных тонких пленок с помощью короткого и ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления

Физика конденсированного состояния
Кожевников В.Ю. Оскирко В.О. Работкин С.В. Павлов А.П. Семёнов В.А. Соловьёв А.А. Гренадёров А.С. Захаров А.Н.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 15
  • 3954
  • Страницы: 26-30

Изготовление и исследование УФ – фотодиода на основе гетероперехода n-GaN/p-NiO

Физическая электроника
Казакин А.Н. Эннс Я.Б. Уваров А.В. Никитина Е.В.
  • Год: 2022
  • Том: 15
  • Выпуск: 3.2
  • 30
  • 5139
  • Страницы: 145-149

Эффект памяти формы в пленках системы медь-алюминий-никель

Физическое материаловедение
Комаревцев И.М. Лурье М. С. Пульнев С. А. Прядко А. И. Уголков В. Л.
  • Год: 2009
  • Выпуск: 4
  • 0
  • 8785
  • Страницы: 107-113

Морфология поверхности и полевая эмиссия углеродных пленок, полученных методом магнетронного напыления

Физическая электроника
Емельянов А.Ю. Габдуллин П.Г. Архипов А.В. Гнучев Н.М.
  • Год: 2013
  • Выпуск: 3
  • 695
  • 10035
  • Страницы: 144-150