Морфология поверхности и полевая эмиссия углеродных пленок, полученных методом магнетронного напыления

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

Исследовано влияние температуры роста углеродных пленок на кремниевых подложках на морфологию их поверхности и уровень полевой эмиссии. Выявлен интервал температур роста, в котором образуются углеродные пленки, обладающие эмиссионной активностью.