НТВ Физико-математические науки
    Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2008
    ISSN 2304-9782
    ISSN 2618-8686
    ISSN 2405-7223
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    Подать статью

    Статьи по ключевому слову "PECVD"

    Влияние геометрии электрода на рост горизонтально ориентированных углеродных нанотрубок

    Математическое моделирование физических процессов
    Хомленко Д.Н.Ильин О.И.Ильина М.В.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.2
    • 5
    • 610
    • Страницы: 66-71

    Плазмохимическое осаждение фосфида бора и его оптические свойства

    Физическое материаловедение
    Максимова А.А.Уваров А.В.Поздеев В.А. Кириленко Д.А.Баранов А.И.Вячеславова Е.А.Гудовских А.С.
    • Год: 2023
    • Том: 16
    • Выпуск: 3.2
    • 35
    • 4792
    • Страницы: 273-277