НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "PECVD"

Влияние геометрии электрода на рост горизонтально ориентированных углеродных нанотрубок

Математическое моделирование физических процессов
Хомленко Д.Н. Ильин О.И. Ильина М.В.
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.2
  • 0
  • 25
  • Страницы: 66-71

Плазмохимическое осаждение фосфида бора и его оптические свойства

Физическое материаловедение
Максимова А.А. Уваров А.В. Поздеев В.А. Кириленко Д.А. Баранов А.И. Вячеславова Е.А. Гудовских А.С.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.2
  • 34
  • 4195
  • Страницы: 273-277