НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "криогенное травление"

Формирование черного кремния с использованием криогенного травления и слоя фоторезиста

Физическая электроника
Вячеславова Е.А. Мохов Д.В. Уваров А.В. Максимова А.А. Михайлов О.П. Баранов А.И. Гудовских А.С.
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.1
  • 0
  • 36
  • Страницы: 182-186

Гетероструктурные солнечные элементы на основе GaP/b-Si

Физическая электроника
Вячеславова Е.А. Уваров А.В. Максимова А.А. Баранов А.И. Гудовских А.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 19
  • 2455
  • Страницы: 199-203