НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Шарофидинов Шукрилло
Подать статью
Последние выпуски
Шарофидинов Шукрилло
Шарофидинов Шукрилло

Структурные характеристики поверхности пленок нитрида алюминия-галлия на нанослоях карбида кремния на кремнии

Физическое материаловедение
Гращенко А.С. Кукушкин С.А. Шарофидинов Ш.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.2
  • 11
  • 3788
  • Страницы: 223-227