Образование устойчивых радиационных повреждений при последовательной ионной бомбардировке альфа-оксида галлия
Авторы:
Аннотация:
В работе представлены результаты исследования накопления радиационных повреждений в α-Ga2O3 при последовательной бомбардировке ионами фтора и фосфора с различной энергией кэВ-диапазона. Установлено заметное влияние последовательности ионного облучения как на количество, так и профиль распределения устойчивых дефектов по глубине. Обсуждается физическая природа подобной некоммутативности.