Определение толщины покрытий методом рентгенофлуоресцентного анализа с использованием градуировочной зависимости, полученной расчетным путем

При измерении толщины покрытия методом рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) требуется провести предварительную калибровку системы регистрации на эталонных образцах с известной толщиной покрытия. Такая операция занимает довольно много времени и дает результат лишь для определенной системы регистрации и пары элементов (базового материала и его покрытия). В настоящей работе калибровочная кривая определена расчетным методом Монте-Карло с использованием программы MCC 3D. Так были получены зависимости отношения интенсивностей линий флуоресценции Fe K_α (подложка) и Zn K_α (покрытие), а также Cu K_α (подложка) и Au L_α (покрытие) от значений толщины покрытий. Кроме того, рассчитаны погрешности определения толщины покрытий и сделан вывод о возможности применения метода Монте-Карло для расчета толщины покрытия без предварительной градуировки. Помимо этого, были рассчитаны оптимальные углы установки детекторов относительно нормали для расчета толщины покрытия методом РФА.