Микродисковые лазеры с мостиковой контактной площадкой, сформированной методом мокрого химического травления
В работе исследованы микролазеры с квантовыми точками на подложках GaAs, состоящие из дискового резонатора, электрического контакта мостового типа и поддерживающей мезаструктуры, сформированные жидкостным химическим травлением. Изучено влияние недотравленного выступа на краю диска, образованного под металлическим мостиком, а также слабое латеральное растекание тока из-за малой площади электрического контакта на поверхности резонатора. Обнаружено, что скалывание недотравленного выступа дискового резонатора значительно снижает пороговый ток, что приводит к возможности работы лазера в непрерывном режиме. Плохое латеральное растекание тока было подтверждено исследованиями электролюминесценции с пространственным разрешением в микролазерах полудисковой геометрии.