Пассивация фронтальной поверхности фотоэлектрического преобразователя лазерного излучения на основе узкозонных материалов
Авторы:
Аннотация:
Проведена пассивация светочувствительной поверхности германия и антимонида галлия аморфным и поликристаллическим кремнием. С использованием Si-пленок изготовлены фотоэлектрические преобразователи лазерного излучения для длины волны λ ~ 1550 нм. Предложенный способ позволяет достигать высоких значений выходных параметров и дает возможность укоротить технологический цикл изготовления преобразователя по сравнению с двухстадийной диффузией в открытую поверхность.