Осаждение олова и золота на пористом кремнии методом вакуумно-термического напыления
Авторы:
Аннотация:
Методами атомно-силовой микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии получены данные о морфологии и составе образцов пористого кремния с вакуумно-термическим испарением оловом и золотом. Установлено, что химическое осаждение тонких металлических слоев на пористый кремний приводит к образованию композитной структуры, при этом наблюдается частичное окисление оловянной пленки, а пленка золота остается металлической.