Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран

Математическое моделирование физических процессов
Авторы:
Малохатко Софья Владимировна Гусев Евгений Юрьевич Цзян Лиюань Агеев Олег Алексеевич
Аннотация:

В работе представлены результаты моделирования конструкций многослойных мембран трех типов: круглой, квадратной и квадратной с поперечными и угловыми подвесами. Получены значения прогиба для каждого  типа многослойных мембран по действие внутренних механических напряжений в каждом слое. Исследовано влияния технологических условий формирования пленок в многослойных мембранах на их напряженно-деформированное состояние в ультразвуковых датчиках.