Технология изготовления тонкопленочных алюминиевых наноструктур методом сухой аэрозольной печати

Физическое материаловедение
Авторы:
Каменева Екатерина Игоревна Лизунова Анна Александровна Филалова Эмилия Марсовна Мало Дана Корнюшин Денис Владимирович Иванов Виктор Владимирович
Аннотация:

Обсуждаемая статья посвящена технологии создания пленочных структур из наночастиц алюминия, синтезированных в искровом разряде, которые могут быть использованы для плазмонного усиления электромагнитного поля в ультрафиолетовом диапазоне. Наноструктуры различных рисунков наносились методом сухой аэрозольной печати на подложку из полированного кварцевого стекла. Были исследованы зависимости ширины линии от параметров печати, таких как фокусное расстояние, скорость перемещения подложки и расход газа. Были определены оптимальные параметры печати для получения пленок с различными рисунками: сетками, линиями и равномерным распределением наночастиц по поверхности.