Получение пленок Mn4 Si7 методом магнетронного распыления и широкий спектр их термоэлектрических свойств

В работе были изготовлены пленки высшего силицида марганца Mn4Si7 и изучен широкий спектр их свойств. Состав и структура пленок, полученных методом ионно-плазменного магнетронного распыления, исследовались методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа. Были измерены температурные зависимости удельного сопротивления пленок (четырехзондовый метод), их коэффициента Зеебека (двухзондовый метод), а также постоянная Холла и спектры оптического отражения (при комнатной температуре). Рассчитаны термоэлектрическая добротность, ширина запрещенной зоны (0,66 эВ), концентрация и подвижность заряженных частиц и др. параметры. Проведено сравнение свойств пленок, находящихся в аморфной и поликристаллической фазах. Установлено, что термоэдс пленки при переходе из аморфного состояния в поликристаллическое увеличивается примерно в 6 раз. Полученные результаты доказывают, что пленку можно применять в детекторах тепловолнового излучения.