Быстродействующий интерферометрический измеритель толщины пленок в диапазоне от десяти до тысячи микрон

Описан быстродействующий лазерно-интерферометрический прибор для исследования толщины пленок, прозрачных в видимом или инфракрасном диапазонах. Пределы измеряемых толщин - от 10 мкм до 1 мм. Частота измерений - 25 раз в секунду, время одного измерения - 3·10-4 с. Это позволяет измерять толщину нестабильных, в том числе жидких, пленок. Благодаря совмещению в одном приборе двух способов определения толщины - по числу пиков угловой зависимости коэффициента отражения лазерного луча и по значению этого коэффициента при заданном угле падения, - удалось снизить ошибку в определении толщины до 150 нм.