НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "плазмохимическое травление"

Электронный негативный резист AR-N 7520 в процессах формирования фотонных структур

Физическое материаловедение
Фетисенкова К.А. Мельников А.Е. Мяконьких А.В. Рогожин А.Е. Татаринцев А.А.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 14
  • 2725
  • Страницы: 278-282

Создание оптических изолированных микрорезонаторов GaP(NAs) на кремнии

Физика конденсированного состояния
Дворецкая Л. Н. Можаров А.М. Комаров С.Д. Вячеславова Е.А. Моисеев Э.И. Федоров В.В. Мухин И.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3
  • 32
  • 3386
  • Страницы: 25-35