НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "монолитная интеграция"

Комбинированный подход к созданию шаблона на подложке SiO2/Si с использованием ионных пучков и жидкостного травления

Физика конденсированного состояния
Ерёменко М.М. Шандыба Н.А. Черненко Н.Е. Житяева Ю.Ю. Балакирев С.В. Солодовник М.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 7
  • 688
  • Страницы: 75-78

Влияние плазмохимической обработки подложек Si(001) на последующий эпитаксиальный рост GaAs

Физика конденсированного состояния
Ерёменко М.М. Никитина Л.С. Житяева Ю.Ю. Лахина Е.А. Климин В.С. Агеев О.А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 19
  • 2147
  • Страницы: 122-127

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: