Статьи по ключевому слову "многослойная мембрана"
Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран
- Год: 2024
- Том: 17
- Выпуск: 3.2
- 4
- 487
- Страницы: 121-124
Адрес страницы с ошибкой:
Текст с ошибкой:
Ваш комментарий или корректная версия: