НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "микроэлектромеханические датчики"

Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран

Математическое моделирование физических процессов
Малохатко С.В. Гусев Е.Ю. Цзян Л. Агеев О.А.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.2
  • 0
  • 39
  • Страницы: 121-124