Статьи по ключевому слову "микроэлектромеханические датчики"
Влияние внутренних механических напряжений в многослойной структуре на смещение для различных конструкций микроэлектромеханических мембран
- Год: 2024
- Том: 17
- Выпуск: 3.2
- 4
- 489
- Страницы: 121-124