НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "монолитная интеграция"

Комбинированный подход к созданию шаблона на подложке SiO2/Si с использованием ионных пучков и жидкостного травления

Физика конденсированного состояния
Ерёменко М.М. Шандыба Н.А. Черненко Н.Е. Житяева Ю.Ю. Балакирев С.В. Солодовник М.С.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 13
  • 2168
  • Страницы: 75-78

Влияние плазмохимической обработки подложек Si(001) на последующий эпитаксиальный рост GaAs

Физика конденсированного состояния
Ерёменко М.М. Никитина Л.С. Житяева Ю.Ю. Лахина Е.А. Климин В.С. Агеев О.А.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 21
  • 3684
  • Страницы: 122-127