НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Татаринцев Андрей А.
Подать статью
Последние выпуски
Татаринцев Андрей А.
Татаринцев Андрей А.

Электронный негативный резист AR-N 7520 в процессах формирования фотонных структур

Физическое материаловедение
Фетисенкова К.А. Мельников А.Е. Мяконьких А.В. Рогожин А.Е. Татаринцев А.А.
  • Год: 2024
  • Том: 17
  • Выпуск: 3.1
  • 12
  • 2312
  • Страницы: 278-282