НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Оскирко Владимир Олегович
Подать статью
Последние выпуски
Оскирко Владимир Олегович
Оскирко Владимир Олегович
Место работы
Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН
г. Томск, Российская Федерация

Новые методы синтеза высококачественных тонких пленок с помощью короткого и ультракороткого мощного импульсного магнетронного распыления

Физика конденсированного состояния
Кожевников В.Ю. Оскирко В.О. Работкин С.В. Павлов А.П. Семёнов В.А. Соловьёв А.А. Гренадёров А.С. Захаров А.Н.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 3.1
  • 16
  • 4147
  • Страницы: 26-30