Формирование массивов наностолбиков TiO2 и их структурная эволюция

Представлены изготовление и структурное исследование массивов наностолбиков TiO₂, полученных методом двухстадийного анодирования двухслойной структуры Al/TiN (1000 нм/250 нм). В исходном состоянии наностолбики аморфны. Отжиг при 300 °C инициирует кристаллизацию; при 500 °C формируется преимущественно нанокристаллический анатаз; при 800 °C наблюдаются рост зерен и сосуществование анатаза и рутила. Морфология массива (диаметр ~20 нм, шаг ~50 нм, высота ~150 нм) сохраняется даже после высокотемпературной обработки без спекания столбиков. Показано, что ~500 °С является оптимальным режимом получения анатаза при сохранении наноструктурированной геометрии, что важно для фотокаталитических приложений и использования массивов наностолбиков TiO₂ как платформ для гибридных SERS-подложек.