Формирование метаматериалов на поверхности карбида кремния методом плазменной обработки
В представленной работе была спроектирована элементарная ячейка самодополняющего метаматериала, представляющего собой чередующиеся патчи и отверстия в проводящем графеноподобном слое толщиной 7 мкм на подложке из карбида кремния толщиной 250 мкм. Представлены результаты численного исследования разработанной структуры. При проведении расчетов учитывались проводимость графеноподобной пленки, а также диэлектрические параметры подложки из карбида кремния. Разработанный метаматериал предназначен для конвертации круговой поляризации в линейную, центральная рабочая частота полученной структуры 10 ГГц. Размеры элементарной ячейки 2,8 мм x 5,6 мм. Полученные элементы могут быть использованы в СВЧ-технике и антенных структурах. Для изготовления структур планируется применять метод плазмохимического травления карбида кремния в среде фторсодержащего газа, при котором происходит деструкция кремниевой составляющей и на поверхности остается графеноподобный проводящий слой. Толщина графеноподобного слоя зависит от мощности источника индуктивно-связанной плазмы и времени обработки, так в работе была взята толщина 7 мкм, получаемая при 800 Вт и 8,5 минутах травления SiC в атмосфере SF6/Ar.