НТВ Физико-математические науки
    Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2008
    ISSN 2304-9782
    ISSN 2618-8686
    ISSN 2405-7223
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    Подать статью

    Статьи по ключевому слову "плазменное травление"

    Исследование формирования элементов терагерцовой фотоники методом плазменного травления

    Физическая электроника
    Климин В.С.Гусев Е.Ю.Поляков В.В.Тарасов П.А.Григорьев М.Н.Ван ШуменВан ЖаовэйЯнг ЛиюаньЖан ВэйАгеев О.А.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 4
    • 889
    • Страницы: 165-168

    Формирование метаматериалов на поверхности карбида кремния методом плазменной обработки

    Физическая электроника
    Климин В.С.Демьяненко А.В.Бобков И.Н.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 16
    • 970
    • Страницы: 161-164