НТВ Физико-математические науки
    Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические наукиCанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
    Издается с 2008
    ISSN 2304-9782
    ISSN 2618-8686
    ISSN 2405-7223
    ruРусский
    Версия для слабовидящих
    Подать статью

    Статьи по ключевому слову "микроэлектроника"

    Формирование графеноподобной проводящей пленки на поверхности карбида кремния методом лазерной деструкции кремния

    Физическая электроника
    Климин В.С.Тарасов П.А.Григорьев М.Н.Гавриш П.Е.Ткачева А.А.Пташник В.В.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 3
    • 1011
    • Страницы: 169-172

    Исследование формирования элементов терагерцовой фотоники методом плазменного травления

    Физическая электроника
    Климин В.С.Гусев Е.Ю.Поляков В.В.Тарасов П.А.Григорьев М.Н.Ван ШуменВан ЖаовэйЯнг ЛиюаньЖан ВэйАгеев О.А.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 4
    • 1053
    • Страницы: 165-168

    Формирование метаматериалов на поверхности карбида кремния методом плазменной обработки

    Физическая электроника
    Климин В.С.Демьяненко А.В.Бобков И.Н.
    • Год: 2025
    • Том: 18
    • Выпуск: 3.1
    • 17
    • 1140
    • Страницы: 161-164

    Структурированные биомолекулярные пленки для микроэлектроники

    Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
    Баранов М. А.Цыбин О.Ю.Величко Е.Н.
    • Год: 2021
    • Том: 14
    • Выпуск: 1
    • 33
    • 8731
    • Страницы: 85-99