Эффективность фокусирующей системы при транспортировке ионного тока в систему дифференциальной откачки масс-спектрометра

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

Проведено экспериментальное исследование транспортировки заряженных частиц в ионном источнике с коронным разрядом и фокусирующей системой, состоящей из тонких диафрагм, с учетом газодинамического течения в окрестности сопла. Показано, что область влияния газодинамического течения на транспортировку ионов в окрестности сопла не превышает двух диаметров сопла. Представлены результаты сравнения эффективности транспортировки ионного пучка в ионном источнике с фокусирующей системой и без нее. Использование фокусирующей системы позволяет втрое увеличить ток на коллекторе и на порядок величины повысить сумму токов, приходящих на сопло и коллектор.