Датчик быстропеременного и статического давления

Приборы и техника физического эксперимента
Авторы:
Агафонов Дмитрий Вячеславович Новичков Максим Дмитриевич Шепелева Анастасия Эдуардовна Гурин Сергей Александрович Рыжов Алесандр Алексеевич Волков Валентин Сергеевич
Аннотация:

Разработано новое конструктивно-технологическое решение для чувствительного элемента датчика статического и быстропеременного давления на основе интеграции тензорезистивных и пьезоэлектрических пленок  нанометрового размера, что позволило создать многофункциональный чувствительный элемент с малыми отклонениями давления от действительных значений.