Формирование наноконусов на поверхности пленок Pb0.4Sn0.6Te при ионно-плазменной обработке ионами аргона с энергией 140 эВ

В статье исследована модификация поверхности эпитаксиальных пленок Pb_0.4Sn_0.6Te при ионно-плазменной обработке в аргоновой плазме. Пленки теллурида свинца-олова толщиной 2 мкм были выращены на  подложках BaF₂ (111) методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Ионно-плазменная обработка проводилась в плотной аргоновой плазме ВЧ индукционного разряде при энергии ионов ~140 эВ. Продолжительность  процесса составляла 60 и 120 с. Изучены параметры ансамбля наноконусов, описана эволюция высоты конусов, их поперечных размеров и поверхностной плотности при изменении времени обработки.