Влияние напряжения электростатической фокусирующей линзы на размер структур при 3D-печати заряженными наночастицами золота

Физика конденсированного состояния
Авторы:
Аннотация:

В статье демонстрируется метод трехмерной аэрозольной печати заряженных наночастиц золота размером 20–180 нм на кремниевой подложке с использованием электростатической фокусировки через матричную проводящую линзу. В результате эксперимента была установлена экспериментальная зависимость между шириной структуры и напряжением на линзе. Также получены структуры до 20 раз меньшего размера, чем отверстие в линзе.