Оптимизация режимов осаждения пленки диоксида ванадия для активных метаповерхностей

Физическое материаловедение
Авторы:
Кутепов Максим Евгеньевич Домарацкий Иван Константинович Жуков Сергей Сергеевич Кайдашев Евгений Михайлович Лисневская Инна Викторовна Абдулвахидов Камалудин Гаджиевич Кайдашев Владимир Евгеньевич
Аннотация:

Проведено сравнение нескольких протоколов напыления эпитаксиальных пленок VO2 из мишени металлического ванадия и VO2. В отличии от пленок изготовленных из металлической мишени пленки из оксидной мишени показали поверхность свободную от капель. Образцы, синтезированные из оксидной мишени, в среднем показали большее среднее ИК-отражение 55–67% в проводящем состоянии по сравнению с ~ 56% для образцов, полученных из металлической ванадиевой мишени.