Модификация оптических и электрических свойств пленок NiO с примененим термического отжига

В данной работе представлены результаты исследования влияния термического отжига на оптические и электрические характеристики пленок NiO. Слои NiO были синтезированы с использованием DC магнетронного напыления из мишени Ni. Напыление плeнок осуществлялось в газовой смеси Ar/O₂ соотношением 70%/30%, соответсвенно. Мощность напыления составила 100 W. Полученные плeнки имели низкую прозрачность и высокую проводимость, что связано с высоким содержанием кислородных вакансий в структурном слое NiO. Влияние термического отжига на характеристики пленок NiO изучалось на пленках, полученных методом магнетронного напыления. Отжиг осуществлялся в кислородосодержащей среде при температурах от 200 °С до 550 °С и длительностью отжига от 5 до 120 минут. Результаты оптических исследований показали, что отжиг при температурах до 550 °С приводит к увеличению прозрачности с 5 % до 80 % на длине волны 700 нм. При этом увеличение температуры и длительности процесса сопровождается с увеличением оптической ширены запрещенной зоны. Подобная тенденция наблюдалась при исследовании проводимости пленок, где повышение температуры отжига приводит к увеличению удельного сопротивления с 0.2 Ом·см до 1460 Ом·см.