Модель шероховатости для расчета оптических потерь в фотонных интегральных схемах

Оптические потери радиофотонных схем является одним из важнейших показателей качества их работы. Среди множества эффектов, влияющих на оптические потери, можно выделить шероховатость боковых стенок оптических элементов таких схем (далее шероховатость). В данной работе предлагается к рассмотрению высокоэффективная модель появления шероховатости, состоящая из расчета оптической части  фотолитографии, а также имитационного моделирования резиста. Описаны принципы функционирования и особенности реализации представленной модели. Продемонстрированы результаты моделирования, полученные с помощью новой модели шероховатости, а также предложен метод их экспериментальной верификации. Приводится теоретическая оценка потерь в волноводной структуре, связанных с шероховатостью.