Ионно-индуцированное формирование наноструктур золота на пленке из полиметилметакрилата

В настоящей работе исследуется поведение тонкого слоя золота на поверхности пленки полиметилметакрилата (ПММА) при облучении атомарными ионами P и молекулярными ионами PF₄ с энергиями порядка кэВ. Поведение как слоя золота, так и пленки ПММА зависит от типа используемых ионов. Формирование наночастиц золота происходит менее эффективно, чем при ионно-лучевом осушении слоя Au на подложке SiO₂. Установлено также образование наноструктурированных областей в объеме полимера. Выявлена зависимость пропускания в ИК-диапазоне от стадии формирования наноструктур. С помощью ИК-Фурье анализа доказано, что при формировании наноструктур полимер хоть и претерпевает изменения, но все же остается ПММА. Полученные структуры могут быть использованы в качестве подложек для исследований методом поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния.