Эволюция морфологии мезопористого порошка кремния, сформированного Pd-стимулированным химическим травлением при температурах 25-75 °C

В этой работе мы сообщаем о формировании порошка пористого кремния путем двухстадийного химического травления металлургического порошка поликристаллического кремния с использованием Pd путем изменения времени травления от 30 до 90 минут и температуры раствора от 25 до 75 ° C с термостабилизацией и без нее. Наблюдается быстрое повышение температуры с максимальным значением 95-100°C в случае травления без термостабилизации. Длительное время травления 90 минут и температура растворения выше 50°C оказывают негативное влияние на формирование пористых частиц, что приводит к их полному растворению. Наблюдается медленный рост температуры для всех начальных температур в случае травления с термостабилизацией. Показано положительное влияние термостабилизации в процессе травления на толщину стенок пор, снижающее неконтролируемо растущую скорость травления кремния, и как следствие, перетрав кремния.