Сравнение способности испускания оптического излучения электроотрицательного тлеющего разряда в цилиндрической и коаксиальной геометрии

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

Для положительного столба электроотрицательного тлеющего разряда среднего давления в смеси хлора с инертным газом теоретически исследован переход от традиционной цилиндрической геометрии разряда к коаксиальной, когда плазма разряда локализована в зазоре между двумя коаксиально расположенными цилиндрическими трубками; при этом возникает новый механизм потерь электронов – их диффузионный уход на внутреннюю стенку. Показано, что существование разряда становится возможным лишь при существенном увеличении частоты ионизации и, соответственно, электронной температуры; последнее вызовет возрастание удельной мощности ультрафиолетового излучения разряда. Получены аналитические выражения для оценки электронной температуры плазмы указанного разряда в коаксиальной геометрии.