Влияние температуры на свойства DLC-пленок и на рост сэндвич-структуры DLC-Ni:C

Продемонстрирована возможность формирования сэндвич-структур, включающих слои алмазоподобного углерода (DLC) и слои углерода с нанокристаллами никеля на кремниевой подложке(ncNi:C). исследовано влияние высокотемпературной выдержки dlc-пленки в процессе осаждения слоев ncNi:C на ее свойства. изохронный отжиг проводился в среде технологического газа, используемого в cVd-процессе осаждения. Все полученные структуры были исследованы методами атомной силовой и сканирующей электронной микроскопии, а также рентгеновской фотоэлектрон-ной спектроскопии. установлено, что отжиг приводит к снятию внутренних механических напряжений в DLC-пленках, а также вызывает свеллинг образцов. При этом с увеличением температуры отжига возрастает доля sp3-гибридизованных связей и симметрично снижается доля sp2-связей. Были изучены различные последовательности процессов получения сэндвич-структуры dlc-ni:c. наилучший режим для достижения высокого качества структуры - это использование напряжения 200 В и мощности 100 Вт для выращивания DLC-пленки и получение слоев Ni:C при температуре не выше 500 °с.