Распределение электрического потенциала в реакторе с удаленной плазмой атмосферного давления
Авторы:
Аннотация:
Разработана оригинальная конструкция электрического зонда и методика, позволяющая производить измерения параметров ионного потока в реакторе с источником удаленной плазмы, стимулированной высокочастотным емкостным разрядом (13,56 MГц) в гелии при атмосферном давлении. Приведены экспериментальные данные по распределению концентрации ионов и потенциала пространства вдоль оси реактора, вне разрядного промежутка.