Давление силы Казимира на слой диэлектрика в наноразмерных слоистых твердотельных структурах алюминий - оксид кремния - кремний
Авторы:
Аннотация:
Представлен расчет величины давления дисперсионных сил на слой диэлектрика в широко используемой впроизводстве электронных компонентов твердотельной слоистой структуре алюминий - оксид кремния - кремний. Показано, что в нанометровом диапазоне толщин диэлектрика давление резко возрастает и при толщине в 1 нм достигает значения 8 МПа. При этом результаты расчета не зависят от используемой модели диэлектрической проницаемости образующих структуру веществ.