Образование пар Френкеля в кремнии под действием электронов и протонов высоких энергий
Авторы:
Аннотация:
Выполнен анализ дефектообразования в кремнии при облучениях, используемых для моделирования радиационных поясов Земли. Показано, появление микрообластей монокристаллического кремния с высокой концентрацией вакансий, в которых интенсивно протекают реакции по формированию дивакансий и их комплексов с примесными атомами, а также принципиальное различие в воздействии протонного облучения.