Моделирование первичных радиационных дефектов в карбиде кремния при бомбардировке ионами и кластерами углерода
Авторы:
Аннотация:
Представлены результаты исследования характеристик низкоэнергетической имплантации ионов, кластеров и фуллеренов C[N] (N = 1; 5; 60) в карбид кремния. Произведен анализ пространственного распределения пробегов внедренных атомов, исследованы особенности дефектообразования в приповерхностной области бомбардируемой мишени в зависимости от размера налетающего кластера.