Спектроскопический метод оценки параметров плазмы в положительном столбе тлеющего разряда в смеси инертных газов и хлора

Физическая электроника
Авторы:
Аннотация:

Описан спектроскопический метод, основанный на данных измерений населенностей неметастабильных уровней атомов и молекул и на решении уравнений баланса населенностей относительно концентрации и температуры электронов с использованием имеющихся данных о сечениях различных процессов. Приведен пример составления уравнений баланса.