Мониторинг качества гетероперехода AlGaN/GaN с помощью длинноканального полевого гетеротранзистора
Авторы:
Аннотация:
Предложена новая методика мониторинга (контроля) качества гетероперехода AlGaN/GaN при производстве нитрид-галлиевых мощных полевых гетеротранзисторов.