Статьи по ключевому слову "химическая эпитаксия"
Влияние динамических и температурных неоднородностей на эпитаксиальные процессы в горизонтальном CVD-реакторе
- Год: 2023
- Том: 16
- Выпуск: 1.1
- 16
- 3060
- Страницы: 336-340
Адрес страницы с ошибкой:
Текст с ошибкой:
Ваш комментарий или корректная версия: