НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
ru Русский
Версия для слабовидящих
Подать статью

Статьи по ключевому слову "плазменное травление"

Исследование формирования элементов терагерцовой фотоники методом плазменного травления

Физическая электроника
Климин В.С. Гусев Е.Ю. Поляков В.В. Тарасов П.А. Григорьев М.Н. Ван Шумен Ван Жаовэй Янг Лиюань Жан Вэй Агеев О.А.
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.1
  • 1
  • 305
  • Страницы: 165-168

Формирование метаматериалов на поверхности карбида кремния методом плазменной обработки

Физическая электроника
Климин В.С. Демьяненко А.В. Бобков И.Н.
  • Год: 2025
  • Том: 18
  • Выпуск: 3.1
  • 2
  • 319
  • Страницы: 161-164