НТВ Физико-математические науки
Научно-технические ведомости СПбГПУ. Физико-математические науки Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
ru Русский
Версия для слабовидящих
Издается с 2008
ISSN 2304-9782
ISSN 2618-8686
ISSN 2405-7223
Подать статью

Статьи по ключевому слову "оптическая литография"

Ионный транспорт в единичных твердотельных нанопорах, сформированных методами оптической и ионной литографии

Атомная физика, физика кластеров и наноструктур
Ваулин Н.В. Афоничева П.К. Лебедев Д.В. Букатин А.С. Мухин И.С.
  • Год: 2023
  • Том: 16
  • Выпуск: 1.1
  • 17
  • 3131
  • Страницы: 385-388

Сообщить автору об опечатке:

Адрес страницы с ошибкой:

Текст с ошибкой:

Ваш комментарий или корректная версия: